GUL15礦用本安型雷達(dá)物位傳感器體硅工藝是指沿硅襯底厚度方向刻蝕硅襯底的工藝，包括濕法刻蝕和干法刻蝕。它是實現(xiàn)三維結(jié)構(gòu)的一種重要方法。為了形成完整的微結(jié)構(gòu)，通常在加工的基礎(chǔ)上采用鍵合或鍵合技術(shù)，將硅鍵合技術(shù)與體硅加工方法相結(jié)合。硅的微結(jié)構(gòu)是通過多重掩模、單面或雙面光刻和各向異性蝕刻形成的，然后將相關(guān)零件確對齊并粘合成一個整體。體硅加工工藝比硅表面加工工藝復(fù)雜，體積大，成本高。

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